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Differenze tra rivestimento per evaporazione e rivestimento per sputtering

Come tutti sappiamo, i metodi comunemente utilizzati nel rivestimento sotto vuoto sono la traspirazione sotto vuoto e lo sputtering ionico.Qual è la differenza tra rivestimento traspirante e rivestimento sputtering Moltipersone avere domande del genere.Condividiamo con voi la differenza tra rivestimento traspirante e rivestimento sputtering

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La pellicola di traspirazione sotto vuoto serve a riscaldare i dati da traspirare a una temperatura fissa mediante riscaldamento a resistenza o fascio di elettroni e bombardamento laser in un ambiente con un grado di vuoto non inferiore a 10-2Pa, in modo che l'energia di vibrazione termica delle molecole o Gli atomi nei dati superano l'energia di legame della superficie, in modo che molte molecole o atomi traspirano o aumentano e li depositano direttamente sul substrato per formare una pellicola.Il rivestimento a polverizzazione ionica utilizza l'elevato movimento di rimostranza degli ioni positivi generato dalla scarica di gas sotto l'effetto del campo elettrico per bombardare il bersaglio come catodo, in modo che gli atomi o le molecole nel bersaglio sfuggano e si depositino sulla superficie del pezzo placcato per formarsi la pellicola richiesta.

Il metodo più comunemente utilizzato per il rivestimento traspirante sottovuoto è il metodo di riscaldamento a resistenza.I suoi vantaggi sono la struttura semplice della fonte di riscaldamento, il basso costo e il funzionamento conveniente.Gli svantaggi sono che non è adatto per metalli refrattari e mezzi resistenti alle alte temperature.Il riscaldamento con fascio di elettroni e il riscaldamento laser possono superare gli svantaggi del riscaldamento a resistenza.Nel riscaldamento del fascio di elettroni, il fascio di elettroni focalizzato viene utilizzato per riscaldare direttamente i dati con guscio e l'energia cinetica del fascio di elettroni diventa energia termica per far traspirare i dati.Il riscaldamento laser utilizza il laser ad alta potenza come fonte di riscaldamento, ma a causa dell'elevato costo del laser ad alta potenza, può essere utilizzato solo in un numero limitato di laboratori di ricerca.

L'abilità di sputtering è diversa dall'abilità di traspirazione del vuoto.Lo sputtering si riferisce al fenomeno per cui le particelle cariche bombardano nuovamente la superficie (bersaglio) del corpo, in modo che atomi o molecole solidi vengano emessi dalla superficie.La maggior parte delle particelle emesse sono atomiche, spesso chiamate atomi spruzzati.Le particelle polverizzate utilizzate per bombardare i bersagli possono essere elettroni, ioni o particelle neutre.Poiché è facile per gli ioni ottenere l'energia cinetica richiesta in un campo elettrico, gli ioni vengono per lo più selezionati come particelle di bombardamento.

Il processo di sputtering si basa sulla scarica a bagliore, ovvero gli ioni di sputtering provengono dalla scarica di gas.Diverse abilità di sputtering hanno diversi metodi di scarica a bagliore.Lo sputtering dei diodi CC utilizza la scarica a bagliore CC;Lo sputtering del triodo è una scarica a bagliore supportata da un catodo caldo;Lo sputtering RF utilizza la scarica a bagliore RF;Lo sputtering del magnetron è una scarica luminescente controllata da un campo magnetico anulare.

Rispetto al rivestimento traspirante sotto vuoto, il rivestimento sputtering presenta numerosi vantaggi.Se qualsiasi sostanza può essere spruzzata, in particolare elementi e composti con alto punto di fusione e bassa pressione di vapore;L'adesione tra la pellicola spruzzata e il substrato è buona;Alta densità del film;Lo spessore del film può essere controllato e la ripetibilità è buona.Lo svantaggio è che l'apparecchiatura è complessa e richiede dispositivi ad alta tensione.

Inoltre, la combinazione del metodo di traspirazione e del metodo di sputtering è la placcatura ionica.I vantaggi di questo metodo sono la forte adesione tra la pellicola e il substrato, l'elevata velocità di deposizione e l'elevata densità della pellicola.


Orario di pubblicazione: 09-maggio-2022