Lo scopo della pulizia del target è rimuovere l'eventuale polvere o sporco sulla superficie del target.Ora, l'editore di Rich Special Material Co., LTD.(RSM) condividerà con voi i quattro passaggi per pulire gli obiettivi metallici:
Il primo passo è pulire con un panno morbido e privo di pelucchi imbevuto di acetone;
Il secondo passaggio è simile al primo passaggio, la pulizia con alcool;
Passaggio 3: pulire con acqua deionizzata.Dopo essere stato lavato con acqua deionizzata, il target viene posto in un forno ed essiccato a 100 ℃ per 30 minuti.I target in ossido e ceramica devono essere puliti con un “panno privo di lanugine”.
Il quarto passaggio consiste nel lavare il bersaglio con argon ad alta pressione e gas a basso contenuto d'acqua per rimuovere tutte le particelle di impurità che potrebbero formare un arco nel sistema di sputtering.
Nota: quando si maneggia il target, indossare guanti puliti e privi di pelucchi per evitare assolutamente il contatto diretto con il target con le mani.
Orario di pubblicazione: 24 giugno 2022