Molti amici riguardo al mantenimento del target ci hanno più o meno domande, recentemente ci sono anche molti clienti che si consultano sui problemi relativi al mantenimento del target, lasciamo che l'editore di RSM condivida la nostra conoscenza sulla manutenzione del target sputtering.
Come dovrebbero essere mantenuti gli obiettivi sputter?
1、 Mantenimento degli obiettivi
Per evitare cortocircuiti e archi causati da cavità sporche nel processo di sputtering, è necessario rimuovere periodicamente gli schizzi accumulati al centro e su entrambi i lati della pista di sputtering, il che aiuta anche gli utenti a sputterare continuamente ad alta densità di potenza.
2、 Memorizzazione degli obiettivi
Raccomandiamo agli utenti di conservare il target (sia esso in metallo o ceramica) in una confezione sottovuoto, in particolare il target di adattamento deve essere conservato sotto vuoto per evitare che l'ossidazione dello strato di adattamento comprometta la qualità dell'adattamento.Per quanto riguarda l'imballaggio dei bersagli metallici, suggeriamo che siano imballati almeno in sacchetti di plastica puliti.
3、Pulizia del bersaglio
Il primo passo è pulire con un panno morbido e privo di pelucchi imbevuto di acetone;
Il secondo passaggio è simile al primo passaggio, la pulizia con alcool;
Passaggio 3: pulire con acqua deionizzata.Dopo la pulizia con acqua deionizzata, il target viene posto nel forno ed essiccato a 100 ℃ per 30 minuti.Si consiglia di utilizzare un “panno privo di lanugine” per pulire l'ossido e i target in ceramica.
Il quarto passaggio consiste nel lavare il target con argon ad alta pressione e bassa umidità per rimuovere eventuali particelle impure che potrebbero causare archi nel sistema di sputtering.
4、 Cortocircuito e controllo della tenuta
Dopo aver installato il target, è necessario controllare il cortocircuito e la tenuta dell'intero catodo.Si consiglia di valutare se c'è un cortocircuito nel catodo utilizzando un misuratore di resistenza e un megger.Dopo aver confermato che non vi è cortocircuito nel catodo, è possibile eseguire l'ispezione delle perdite d'acqua e introdurre acqua nel catodo per determinare se vi sono perdite d'acqua.
5、 Imballaggio e trasporto
Tutti i target sono confezionati in sacchetti di plastica sigillati sotto vuoto con agente resistente all'umidità.L'imballaggio esterno è generalmente una scatola di legno con uno strato anti-collisione attorno per proteggere il bersaglio e il backplane da eventuali danni durante il trasporto e lo stoccaggio.
Orario di pubblicazione: 15 luglio 2022