Il materiale target utilizzato nel settore dell'archiviazione dei dati richiede un'elevata purezza e le impurità e i pori devono essere ridotti al minimo per evitare la generazione di particelle di impurità durante lo sputtering.Il materiale target utilizzato per prodotti di alta qualità richiede che la dimensione delle particelle cristalline sia piccola e uniforme e non abbia un orientamento cristallino.Di seguito, diamo un'occhiata ai requisiti del settore della memorizzazione ottica per il materiale target?
1. Purezza
Nelle applicazioni pratiche, la purezza dei materiali target varia a seconda dei diversi settori e requisiti.Tuttavia, nel complesso, maggiore è la purezza del materiale target, migliori saranno le prestazioni della pellicola spruzzata.Ad esempio, nel settore della memorizzazione ottica, la purezza del materiale target deve essere maggiore di 3N5 o 4N
2. Contenuto di impurità
Il materiale target funge da fonte catodica nello sputtering e le impurità nel solido, l'ossigeno e il vapore acqueo nei pori sono le principali fonti di inquinamento per la deposizione di film sottili.Inoltre, ci sono requisiti speciali per obiettivi di usi diversi.Prendendo ad esempio il settore della memorizzazione ottica, il contenuto di impurità nei target di sputtering deve essere controllato a un livello molto basso per garantire la qualità del rivestimento.
3. Granulometria e distribuzione dimensionale
Di solito, il materiale target ha una struttura policristallina, con dimensioni dei grani che vanno dai micrometri ai millimetri.Per target con la stessa composizione, la velocità di sputtering dei target a grana fine è più veloce di quella dei target a grana grossa.Per target con differenze granulometriche minori, anche lo spessore del film depositato sarà più uniforme.
4. Compattezza
Per ridurre la porosità nel materiale target solido e migliorare le prestazioni della pellicola, è generalmente richiesto che il materiale target per lo sputtering abbia un'elevata densità.La densità del materiale target dipende principalmente dal processo di preparazione.Il materiale target prodotto mediante il metodo di fusione e fusione può garantire che non vi siano pori all'interno del materiale target e che la densità sia molto elevata.
Orario di pubblicazione: 18 luglio 2023