A causa della stabilità alle alte temperature, dell'elevata resistenza alla migrazione degli elettroni e dell'elevato coefficiente di emissione di elettroni del tungsteno refrattario e delle leghe di tungsteno, i target di tungsteno e lega di tungsteno di elevata purezza vengono utilizzati principalmente per la produzione di elettrodi di gate, cablaggi di collegamento, strati di barriera di diffusione, ecc. di semiconduttori circuiti integrati e hanno elevati requisiti di purezza, contenuto di impurità, densità, dimensione dei grani e uniformità della struttura dei grani dei materiali.Ora diamo un'occhiata ai fattori che influenzano la preparazione del bersaglio di tungsteno ad elevata purezza.
1、 Effetto della temperatura di sinterizzazione
Il processo di formazione dell'embrione bersaglio di tungsteno viene generalmente effettuato mediante pressatura isostatica a freddo.Il grano di tungsteno crescerà durante il processo di sinterizzazione.La crescita del grano di tungsteno riempirà lo spazio tra i bordi del grano, migliorando così la densità del bersaglio di tungsteno.Con l'aumento dei tempi di sinterizzazione, l'aumento della densità target del tungsteno rallenta gradualmente.Il motivo principale è che dopo sinterizzazione multipla, la qualità del target di tungsteno non è cambiata molto.Poiché la maggior parte dei vuoti nel bordo del grano sono riempiti con cristalli di tungsteno, dopo ogni sinterizzazione, il tasso di variazione delle dimensioni complessive del bersaglio di tungsteno è stato molto piccolo, con conseguente spazio limitato per l'aumento della densità del bersaglio di tungsteno.Con il processo di sinterizzazione, i grani di tungsteno cresciuti vengono riempiti nei vuoti, determinando una maggiore densità del bersaglio con dimensioni delle particelle più piccole.
2、 Effetto del tempo di attesa
Alla stessa temperatura di sinterizzazione, la compattezza del target di tungsteno migliorerà con il prolungamento del tempo di mantenimento della sinterizzazione.Con il prolungamento del tempo di tenuta, la dimensione del grano di tungsteno aumenterà e con il prolungamento del tempo di tenuta, i tempi di crescita della dimensione del grano rallenteranno gradualmente, il che significa che l'aumento del tempo di tenuta può anche migliorare le prestazioni del bersaglio di tungsteno.
3、Effetto del lancio sulle proprietà bersaglio
Al fine di migliorare la densità del materiale target di tungsteno e ottenere la struttura di lavorazione del materiale target di tungsteno, la laminazione a temperatura media del materiale target di tungsteno deve essere eseguita al di sotto della temperatura di ricristallizzazione.Se la temperatura di laminazione della billetta target è elevata, la struttura fibrosa della billetta target sarà grossolana e viceversa.Quando la velocità di rotolamento a caldo supera il 95%.Anche se la differenza nella struttura delle fibre causata dai diversi grani originali o dalle diverse temperature di laminazione verrà eliminata, la struttura interna del target formerà una struttura fibrosa relativamente uniforme, quindi maggiore è la velocità di lavorazione della laminazione a caldo, migliori saranno le prestazioni del target
Orario di pubblicazione: 15 febbraio 2023