La lega di alluminio e titanio è un bersaglio di sputtering in lega per la deposizione sotto vuoto.È possibile ottenere target in lega di alluminio e titanio con caratteristiche diverse regolando il contenuto di titanio e alluminio in questa lega.I composti intermetallici di titanio e alluminio sono materiali duri e fragili con una buona resistenza all'usura.Sono rivestiti con uno strato di composti intermetallici di titanio e alluminio sulla superficie dei normali utensili da taglio, che può prolungare efficacemente la durata degli utensili.Se lo sputtering viene effettuato con avviamento ad arco con scarica di azoto, è possibile ottenere una maschera facciale superficiale ad elevata durezza e basso coefficiente di attrito, particolarmente adatta per il rivestimento superficiale di vari strumenti, stampi e altre parti vulnerabili.Pertanto, ha una buona prospettiva di applicazione nel settore della lavorazione meccanica.
La preparazione dei target in lega di alluminio e titanio è relativamente difficile.Secondo il diagramma di fase della lega di alluminio e titanio, tra titanio e alluminio si possono formare vari composti intermetallici, che portano alla fragilità della lavorazione della lega di alluminio e titanio.Soprattutto quando il contenuto di alluminio nella lega supera il 50% (rapporto atomico), la resistenza all'ossidazione della lega diminuisce improvvisamente e l'ossidazione è grave.Allo stesso tempo, l'espansione esotermica durante il processo di lega può facilmente generare bolle, pori da ritiro e porosità, con conseguente elevata porosità della lega e incapacità di soddisfare i requisiti di densità del materiale target.Esistono due metodi principali per preparare le leghe di alluminio e titanio:
1、 Metodo di riscaldamento a corrente forte
Questo metodo utilizza un dispositivo in grado di ottenere corrente elevata, che riscalda la polvere di titanio e la polvere di alluminio, applica pressione e fa reagire l'alluminio e il titanio per formare bersagli in lega di alluminio e titanio.La densità del prodotto target della lega di alluminio e titanio preparato con questo metodo è >99% e la dimensione del grano è ≤ 100 μm.Purezza>99%.L'intervallo di composizione del materiale target in lega di alluminio e titanio è: contenuto di titanio dal 5% al 75% (rapporto atomico) e il resto è contenuto di alluminio.Questo metodo ha un costo contenuto e un'elevata densità del prodotto e può soddisfare pienamente i requisiti della produzione industriale su larga scala.
2、 Metodo di sinterizzazione mediante pressatura isostatica a caldo
Questo metodo mescola polvere di titanio e polvere di alluminio, quindi viene sottoposto a caricamento della polvere, pressatura isostatica a freddo, prepressatura, processo di degasaggio e quindi formatura a pressatura isostatica a caldo.Infine vengono effettuate la sinterizzazione e la lavorazione per ottenere target in lega di alluminio titanio.Il target in lega di titanio e alluminio preparato con questo metodo ha le caratteristiche di alta densità, assenza di pori, assenza di porosità e segregazione, composizione uniforme e grana fine.Il metodo di pressatura isostatica a caldo è attualmente il metodo principale per preparare target di sputtering di leghe di titanio e alluminio richiesti dall'industria dei rivestimenti.
Orario di pubblicazione: 10 maggio 2023