L'applicazione e il principio del bersaglio sputtering

Per quanto riguarda l'applicazione e il principio della tecnologia target dello sputtering, alcuni clienti hanno consultato RSM, ora per questo problema che più preoccupa, gli esperti tecnici condividono alcune conoscenze specifiche correlate.

　　Applicazione target sputtering:

Le particelle cariche (come gli ioni argon) bombardano una superficie solida, provocando la fuoriuscita di particelle superficiali, come atomi, molecole o fasci, dalla superficie dell'oggetto, fenomeno chiamato "sputtering".Nel rivestimento sputtering magnetron, gli ioni positivi generati dalla ionizzazione dell'argon vengono solitamente utilizzati per bombardare il solido (bersaglio) e gli atomi neutri spruzzati vengono depositati sul substrato (pezzo) per formare uno strato di pellicola.Il rivestimento sputtering Magnetron ha due caratteristiche: “bassa temperatura” e “veloce”.

　　Principio dello sputtering del magnetron:

Un campo magnetico ortogonale e un campo elettrico vengono aggiunti tra il polo bersaglio spruzzato (catodo) e l'anodo, e il gas inerte richiesto (solitamente gas Ar) viene riempito nella camera ad alto vuoto.Il magnete permanente forma un campo magnetico di 250-350 Gauss sulla superficie del materiale target e forma un campo elettromagnetico ortogonale con il campo elettrico ad alta tensione.

Sotto l'azione del campo elettrico, il gas Ar viene ionizzato in ioni ed elettroni positivi e c'è una certa alta pressione negativa sul bersaglio, quindi gli elettroni emessi dal polo bersaglio sono influenzati dal campo magnetico e dalla probabilità di ionizzazione del lavoro il gas aumenta.Un plasma ad alta densità si forma vicino al catodo e gli ioni Ar accelerano sulla superficie del bersaglio sotto l'azione della forza di Lorentz e bombardano la superficie del bersaglio ad alta velocità, in modo che gli atomi spruzzati sul bersaglio sfuggono dalla superficie del bersaglio con elevata velocità. energia cinetica e vola verso il substrato per formare una pellicola secondo il principio della conversione della quantità di moto.

Lo sputtering del magnetron è generalmente diviso in due tipi: sputtering DC e sputtering RF.Il principio delle apparecchiature di sputtering DC è semplice e la velocità è elevata quando si spruzza metallo.L'uso dello sputtering RF è più ampio, oltre allo sputtering di materiali conduttivi, ma anche allo sputtering di materiali non conduttivi, ma anche alla preparazione reattiva dello sputtering di ossidi, nitruri e carburi e altri materiali composti.Se la frequenza della RF aumenta, diventa sputtering di plasma a microonde.Attualmente viene comunemente utilizzato lo sputtering al plasma a microonde del tipo a risonanza ciclotronica elettronica (ECR).