Il bersaglio in lega di titanio sputtering e il metallo di titanio sono composti da titanio, quindi le informazioni sono più o meno le stesse, ma la differenza tra i due risiede principalmente nel bersaglio in lega di titanio sputtering che è realizzato in metallo di titanio in diversi modi, e il titanio si presenta in natura come un minerale di titanio. Gli obiettivi in lega di titanio possono essere ampiamente utilizzati in molte categorie professionali, ora l'autore di Beijing Richmat ha riassunto diversi obiettivi comuni in lega di titanio in termini di utilizzo della situazione per darci un'introduzione dettagliata.
一、Obiettivi Ti per circuiti integrati
I requisiti per lo sputtering di target in lega di titanio sono diversi tra circuiti non integrati e circuiti integrati.In generale, i circuiti integrati hanno requisiti più elevati per i dati di rivestimento, come maggiore purezza, dimensione dei grani più piccola e precisione della scala più accurata. La purezza dei target in titanio nei circuiti integrati è superiore al 99,995%, che è superiore a quella utilizzata nei circuiti non integrati circuiti, indicando che i diversi usi dei requisiti dei target in titanio sono molto diversi.
二、Target Ti per display a schermo piatto
I target in lega di titanio utilizzati nei display a schermo piatto includono display a cristalli liquidi, display al plasma, display a elettroluminescenza e display a emissione di campo. La pellicola sottile del display piatto è un metodo di formatura spruzzato, Al, Cu, Ti e Mo sono i principali target di metallo sputtering per il pannello piatto display.La purezza dei target in lega di titanio per display a schermo piatto è solitamente superiore al 99,9%.
三、Obiettivi Ti per materiali decorativi
Il materiale target in lega di titanio ad alta purezza ha un'eccellente resistenza alla corrosione dell'aria, l'uso a lungo termine nell'aria non cambia colore, per garantire che il colore originale del titanio e il contatto umano non siano allergici e altre caratteristiche eccellenti.Pertanto, il titanio ad elevata purezza può essere utilizzato anche come materiale decorativo; negli ultimi anni, come braccialetti, orologi, occhiali e altri ornamenti, la purezza del titanio ha raggiunto il livello 5N.
四、Obiettivi Ti per sistemi di pompaggio ad altissimo vuoto
Essendo un metallo chimicamente attivo, il titanio può reagire con molti elementi e composti ad alta temperatura.Il target in lega di titanio ad elevata purezza ha una forte capacità di adsorbimento per i gas attivi (come O2, N2, CO, CO2, vapore acqueo sopra 650°C) e il film di Ti che evapora sulla parete della pompa può formare una superficie con elevate prestazioni di assorbimento .Questa proprietà rende Ti ampiamente utilizzato come getter nei sistemi di estrazione del gas ad altissimo vuoto. Se utilizzato per migliorare la pompa, la pompa ionica sputtering, ecc., può ridurre la pressione operativa finale della pompa ionica sputtering fino a 10-9PA
Orario di pubblicazione: 25 aprile 2022