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Quali sono gli effetti del materiale target sulla qualità della produzione del rivestimento su vasta area

  Gli edifici moderni iniziarono a utilizzare ampie aree di illuminazione in vetro.Questo aspetto ci regala stanze più luminose e orizzonti più ampi.D’altra parte, il calore trasmesso attraverso il vetro è molto più elevato rispetto alle pareti circostanti, e il consumo energetico dell’intero edificio aumenta notevolmente..

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  Rispetto al tasso di utilizzo di oltre il 90% del vetro a bassa emissione di radiazioni nei paesi sviluppati, il tasso di penetrazione del vetro a bassa emissività in Cina è solo del 12% circa e la Cina ha ancora molto spazio per lo sviluppo. Tuttavia, rispetto a vetro ordinario e vetro low-E online, il costo di produzione del vetro LowE offline è elevato, il che limita l'applicazione di un certo grado. Le imprese di lavorazione del vetro nazionale hanno l'obbligo di ridurre continuamente i costi di produzione dei prodotti di rivestimento, accelerare l'implementazione, risparmiare energia, migliorare l’ambiente e raggiungere uno sviluppo sociale sostenibile.

  1Influenza della forma del bersaglio

  Ampie aree di rivestimento spesso utilizzano materiale target in base alla forma, compreso l'orientamento planare e l'orientamento rotazionale.Gli obiettivi planari generali includono obiettivo di rame, obiettivo d'argento,NBersaglio i-Cr e bersaglio in grafite.Il bersaglio rotante generale ha un bersaglio di zinco-alluminio, un bersaglio di zinco-stagno, un bersaglio di silicio-alluminio, un bersaglio di stagno, un bersaglio di ossido di titanio, un bersaglio di ossido di zinco e così via. La forma del bersaglio influenzerà la stabilità e le proprietà della pellicola del rivestimento sputtering del magnetron e l'utilizzo. il tasso di target è molto alto.Dopo aver modificato la pianificazione della forma target, è possibile migliorare la qualità e la potenza produttiva del rivestimento e risparmiare sui costi.

  2Influenza della densità relativa e della distanza dal bersaglio

La densità relativa nel target è il rapporto tra la densità pratica e la densità teorica del target, la densità teorica del target a componente singolo è la densità del cristallo e la densità teorica del target in lega o miscela viene calcolata in base alla densità teorica densità di ciascun elemento e proporzione nella lega o miscela..La disposizione del bersaglio dello spruzzatore termico è porosa, altamente ossigenata (anche con la spruzzatura sotto vuoto, la produzione di ossidi e composti nitrosi nel bersaglio della lega è inevitabile) e l'aspetto è grigio e privo di lucentezza metallica.Le impurità assorbite e l'umidità sono le principali fonti di inquinamento.

3Influenza della dimensione delle particelle target e della direzione dei cristalli

A parità di peso del bersaglio, il bersaglio con particelle di piccole dimensioni è più veloce del bersaglio con particelle di grandi dimensioni.Ciò è dovuto principalmente al fatto che il confine delle particelle nel processo di spruzzi è facile da invadere, maggiore è il confine delle particelle, più veloce è la formazione del film.La dimensione delle particelle non influisce solo sulla velocità di sputtering, ma influisce anche sulla qualità della formazione del film. Ad esempio, nel processo di produzione dei prodotti EowE, NCr agisce come strato di mantenimento dello strato riflettente gli infrarossi Ag e la sua qualità ha una grande influenza su prodotti di rivestimento.A causa dell'elevato coefficiente di estinzione dello strato di pellicola NiCr, è generalmente sottile (circa 3 nm). Se la dimensione delle particelle è troppo grande, il tempo di sputtering si riduce, la densificazione dello strato di pellicola peggiora, l'effetto di mantenimento dello strato Ag diminuisce e si determina la decoating per ossidazione dei prodotti vernicianti.

  conclusione

  La pianificazione della forma del materiale target influisce principalmente sul tasso di utilizzo del materiale target.Una pianificazione delle dimensioni ragionevoli può migliorare il tasso di utilizzo del materiale target e risparmiare sui costi. Minore è la dimensione delle particelle, maggiore è la velocità del rivestimento, migliore è l'uniformità.Maggiore è la purezza e la densità, minore è la porosità, migliore è la qualità del film e minore è la probabilità di riduzione delle scorie di scarico.


Orario di pubblicazione: 27 aprile 2022