Con lo sviluppo della tecnologia industriale, anche la qualità dei target richiesti per la produzione industriale sta diventando sempre più elevata, poiché la qualità dei target influisce direttamente sulle prestazioni delle pellicole per sputtering magnetron.Al giorno d'oggi, le aziende generalmente preferiscono utilizzare target ad alta densità con struttura di composizione uniforme per il rivestimento sputtering quando acquistano target, in modo da ridurre la cucitura multipla dei target e migliorare la qualità dei rivestimenti sputtering. Pertanto, ciò richiede al produttore del target di rigorosamente controllare la qualità dell'obiettivo. Ora lasciamo l'editore di PechinoRichmatti portano a capire quali fattori influenzano la qualità del target.
1、L'influenza dei parametri di processo sulla qualità del target
I parametri di processo includono principalmente la pressione di spremitura a freddo, la velocità di pressurizzazione, la velocità di sformatura e altri parametri.Quando il target viene pressato a freddo, la pressione influenzerà direttamente la qualità del target grezzo;La velocità di pressurizzazione ha un grande impatto sulla stratificazione del pezzo grezzo target e lo stato iniziale quando la polvere viene riempita uniformemente nello stampo negativo è uno stato lassista, che ha molti pori e gas, e lo scarico dei gas richiede un periodo di tempo.
2、ILInfluenza della muffa sulla qualità target
Anche lo stampo ha una certa influenza sulla formatura del pezzo grezzo target.I principali fattori che influenzano includono la finitura superficiale del lato interno dello stampo, lo spazio tra il punzone e la cavità dello stampo, ecc. Se lo spazio è troppo grande, si verificheranno fuoriuscite e perdite di polvere, che ridurranno la densità marginale dello stampo. il fustellato è basso e problemi di qualità come la caduta del bordo durante la sformatura.
3、L'effetto del contenuto di umidità del materiale sulla qualità del target
L'umidità contenuta nella polvere del materiale target è equivalente all'effetto del lubrificante e la sua presenza può ridurre l'attrito tra le particelle, favorendo l'efficace trasmissione della pressione di pressatura a freddo e favorendo anche uno scorrimento uniforme e riarrangiamento tra le particelle di polvere.Tuttavia, quando il contenuto di acqua è troppo piccolo o eccessivo, ciò influenzerà la qualità del target.
Quando il contenuto di acqua nella polvere ITO è inferiore al 2%, la probabilità di problemi di qualità come perdita dei bordi e delaminazione del materiale target aumenterà notevolmente quando altre condizioni come la pressione di pressatura a freddo e il contenuto di legante sono le stesse. Quando il contenuto di acqua il contenuto di polvere ITO è superiore al 10%, alla stessa pressione di pressatura a freddo, contenuto di legante e altre condizioni, sebbene le particelle di polvere scivolino e si riorganizzino più facilmente, l'acqua viene scaricata dall'interno dello stampo, causando il problema della caduta bordi attorno allo spazio vuoto del materiale target.I risultati mostrano che quando il contenuto di acqua della polvere è compreso tra il 3% e il 6%, la qualità del pezzo grezzo viene efficacemente controllata.
4、Effetto del contenuto di legante sulla qualità del target
La quantità di legante incorporata ha un grande impatto sulla qualità del materiale target.Quando la quantità di incorporazione è inferiore all'1%, il pezzo grezzo target avrà un problema di qualità molto serio, in questo momento l'effetto del legante non viene mostrato e ha poco effetto sul miglioramento della resistenza del pezzo grezzo target. Con l'aumento dell'incorporazione del legante al 2% e al 3%, la resistenza del materiale target viene migliorata e il problema della qualità del materiale target viene notevolmente ridotto.Tuttavia, quando il legante è incorporato al 4%, anche se scompare il problema di qualità del pezzo grezzo pressato a freddo del materiale target, il materiale target occasionalmente si delamina durante il successivo processo di sformatura.
Orario di pubblicazione: 22 aprile 2022